石英坩埚
由石英制成,可在1450度以下使用,分为透明和不透明两种。透明的石英坩埚用于拉制大直径的单晶硅,是发展大规模集成电路的基础材料。
石英坩埚不能与氢氟酸接触,也不能与强碱或碱金属的碳酸盐发生反应,适用于使用K2S2O7、KHSO4等酸性物质作熔剂的样品。石英的熔点为1713℃,也高于钢铁的熔点。
瓷坩埚
以瓷土为主要原料,可耐热约1200度,适用于使用K2S2O7等酸性物质熔融样品,但不适用于使用NaOH、Na2O2、Na2CO3等碱性物质作熔剂熔融样品,也不可与氢氟酸接触。瓷的熔点为1410℃,略低于钢铁的熔点,但仍可承受一定高温。
刚玉坩埚
这种坩埚的主要材料是多孔熔融氧化铝,质地非常结实,又不会轻易熔化,通常用来盛放无水碳酸钠等弱碱性物质作熔剂熔融样品,但不适用于使用Na2O2、NaOH等强碱性物质和酸性物质作熔剂熔融样品。刚玉的熔点为2045℃,是所有坩埚材料中最高的。
这些材料的选择使坩埚能在高温下稳定运作,不仅能够承受熔融物质的高温,还能保持其完整性和性能。
制造坩埚
既然坩埚能承受如此高温,又是如何加工制作出来的呢?其实,坩埚的制作方法有很多种,主要取决于坩埚的材料和大小。
制作小容量(25kg以下)特殊耐火材料坩埚的一种方法是采用砂浆浇注成型法,适用于制作CaO、BeO、ZrO等材质的坩埚。

首先,将高纯氧化物粉料和黏合剂在球磨机中充分研磨混合,制成砂浆。这一步确保原料充分混合,为后续的坩埚制作提供均匀的材料。
将制成的砂浆注入事先制备好的石膏坩埚模型中。这一步是为了去除材料中的水分,之后才能对外观进行修整。
将干燥脱水后的坩埚坯料放入窑炉中,在1000~1200℃进行预烧。此步骤有助于增强坩埚的稳定性和耐高温性。
冷却后,进行修整加工。最后,在高温窑炉中进行高温烧结,温度通常在1700-1800℃之间。这一步使坩埚材料更加致密,确保其在极端条件下的性能。
通过这个砂浆浇注成型法,制得的坩埚具备了所需的特殊材质和性能,适用于各种高温环境下的应用。
压力成型法是用于制作容量在100kg以下的坩埚,例如石墨、镍、瓷等材质的一种方法。首先,将用于制作坩埚的砂料按不同粒度比例混合均匀。这确保了最终的坩埚坯料具备所需的材料特性。
将混合好的材料装入压力成型模具内,并施加压力使其成型。压力成型法分为简单压力成型和等静压成型两种方式。简单压力成型通过上、下压头异向加压,形成坩埚坯料。
而等静压成型则在被施压物的全部表面施加相等的压力,这样就可以最终成型。然后再将坯料中的水分除去,最终用高温烧制成为成品。
以及还有炉内成型法、砌筑法等很多种不同的方式,主要取决于坩埚的材料和大小。坩埚的制作过程都需要经过研磨、混合、成型、干燥、烧结等步骤,才能使坩埚具有高强度、高耐热性和高抗腐蚀性。